Métrologie tridimensionnelle des états de surface par microscopie confocale à champ étendu.pdf

Métrologie tridimensionnelle des états de surface par microscopie confocale à champ étendu PDF

Dimitri Vaissière

La caractérisation tridimensionnelle des états de surface est plus complète que la traditionnelle profilométrie. Dans ce contexte, loptique est une solution attrayante. Après une synthèse des connaissances relatives au stylet mécanique et la classification et lexplication des différents principes optiques, on sintéresse à la microscopie confocale à champ étendu. Létude de la théorie de limagerie confocale, permet de comprendre la formation de limage dans un tel système. Considérant les aberrations optiques, on construit le modèle physique de limagerie confocale à champ étendu. Disposant dune image dun point de laxe optique, il est alors possible de progresser vers la mesure de laltitude de ce point. On définit alors les différents critères métrologiques et on évalue les performances à laide du modèle théorique et de simulations validées expérimentalement. Les techniques mécanique et optique sont comparées sur les aspects géométriques et physiques. Enfin, on étudie la numérisation tridimensionnelle des états de surface et ses applications. On propose alors une méthode de mesure innovante et qui présente un potentiel métrologique.

P icard, B. Procédé de microscopie optique confocale à balayage et en profondeur de champ étendue. French Patent FR 8800934 (Publication 0327425), CEA, 1988 [14] Chromatic Confocal Microscopy | Request PDF

5.85 MB Taille du fichier
9786131509537 ISBN
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